恒温恒湿机在基板曝光前，能有效维持其表面温度的均一性。经过此设备处理后的空气，温度控制精度可达目标值±0.01℃，充分满足制程环境对温控的要求。

小型高低温动态控温系统产品广泛应用于国内外科学研究和工艺开发、新能源汽车、生物技术、医药行业、航空航天、半导体、医疗技术等行业。

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